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合肥激光氣體,合肥特種氣體,安徽準(zhǔn)分子預(yù)混氣

特種氣體是光電子、微電子等領(lǐng)域。特別是超大規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽(yáng)能電池、半導(dǎo)體發(fā)光器件和半導(dǎo)體材料制造過(guò)程不可缺少的基礎(chǔ)性支撐源材料。它的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質(zhì)量、集成度、特定技術(shù)指標(biāo)和成品率，并從根本上制約著電路和器件的精1確性和準(zhǔn)確性。半導(dǎo)體工業(yè)用氣體品種多、質(zhì)量要求高、用量少，大部分是有毒或腐蝕性氣體。品種高達(dá)百余種。

特種氣體(Specialtygases) 氣體工業(yè)名詞，是指那些在特定領(lǐng)域中應(yīng)用的，對(duì)氣體有特殊要求的純氣，高純氣或由高純單質(zhì)氣體配制的二元或多元混合氣。特種氣體門(mén)類(lèi)繁多，通常可區(qū)分為電子氣體，哪里供應(yīng)氣體，標(biāo)準(zhǔn)氣，環(huán)保氣，醫(yī)用氣，焊接氣，重慶氣體，殺菌氣等，廣泛用于電子，電力，石油化工，采礦，鋼鐵，有色金屬冶煉，熱力工程，生化，環(huán)境監(jiān)測(cè)，醫(yī)學(xué)研究及診斷，食品保鮮等領(lǐng)域。

深度提純難度大，而純度是電子氣體質(zhì)量重要的指標(biāo)。在芯片加工過(guò)程中，微小的氣體純凈度差異將導(dǎo)致整個(gè)產(chǎn)品性能的降低甚至報(bào)廢。電子氣體純度往往要求5N-6N級(jí)別，還要將金屬元素凈化到10-9級(jí)至10-12級(jí)。氣體純度每提高一個(gè)層次對(duì)純化技術(shù)就提出了更高的要求，特種氣體，技術(shù)難度也將顯著上升。以硅1烷為例，將其純度由4N提純到6N中間有漫長(zhǎng)的道路。對(duì)于混合氣體而言，混合配比的精度也是下游生產(chǎn)廠商關(guān)心的指標(biāo)。氣體純化技術(shù)主要有吸附法、精餾法、膜分離法等。

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